真空系统是由 真空泵、真空计、被抽容器及其他元件如真空阀门、冷阱等，借助于真空管道，按一定要求组合而成，并具有所需抽气功能的抽气装置。它的职能是在指定的时间、空间内获得真空，保持真空，确保系统内某项工艺过程或物理过程的实施。
真空系统的主要组成部分包括：
用于产生真空，常见的类型有旋片式、水环式、罗茨式、往复式、滑阀式、水喷射式等。
用于测量真空度，常用的有电离真空规、热偶真空规等。
需要被抽成真空的容器，如真空室、反应釜等。
用于连接各个真空元件，传输气体。
用于控制气体的进出，保持系统的密封性。
用于吸附气体或捕集油蒸汽，防止其进入真空系统。
如PLC程序控制系统，用于自动化控制真空系统的运行。
真空系统的应用非常广泛，主要包括：
用于高真空环境下的半导体材料及器件的加工与处理。
用于制造高真空度的光学元件。
用于去除工件表面的污染物和氧化层。
用于食品的冷冻干燥处理。
用于在真空环境中将材料加热并镀到基片上。
根据不同的应用需求，真空系统还可以进行优化设计，包括选择合适的真空泵组合、配置适当的真空测量和控制元件等，以确保在指定的真空度下实现高效的抽气过程。